- Hauptmenü-

Katalogdatenanzeige

Silizium-Halbleitertechnologie

Kataloginformation Katalogdatensatz500318849 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
ISBN	978-3-519-30149-3
Name	Hilleringmann, Ulrich ¬[VerfasserIn]¬
T I T E L	Silizium-Halbleitertechnologie
Auflage	4., durchgesehene und ergänzte Auflage
Verlagsort	Wiesbaden ; s.l.
Verlag	Vieweg+Teubner Verlag
Erscheinungsjahr	2004
Erscheinungsjahr	2004
Umfang	1 Online-Ressource (IX, 326 S. 279 Abb)
Reihe	Springer eBook Collection. Computer Science and Engineering
Titelhinweis	Erscheint auch als (Druck-Ausgabe)ISBN: 978-3-519-30149-3
ISBN	ISBN 978-3-322-94072-8
Klassifikation	TEC008070
	TEC008000
	TJF
	621.381
	TK7800-8360
Kurzbeschreibung	Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 100 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. Zur weiteren Verdeutlichung des Stoffes wurden in der 4. Auflage Abbildungen und vor allem weitere Übungsaufgaben ergänzt. "Ulrich Hilleringmann ist mit seinem (..) Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen." Elektronik, 11/2003
SWB-Titel-Idn	497445220
Signatur	Springer E-Book
Bemerkungen	Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse	$uhttps://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8
Internetseite / Link	Volltext

ISBD-Anzeige Katalogdatensatz500318849

Kategorien-Anzeige Katalogdatensatz500318849

Titel zur Titelsammlung hinzufügen Katalogdatensatz500318849

Kataloginformation500318849 Datensatzanfang . Kataloginformation500318849 Seitenanfang .

Titel vormerken Katalogdatensatz500318849

Vollanzeige Katalogdaten

Auf diesem Bildschirm erhalten Sie Katalog- und Exemplarinformationen zum ausgewählten Titel.

Im Bereich Kataloginformation werden die bibliographischen Details angezeigt. Per Klick auf Hyperlink-Begriffe wie Schlagwörter, Autoren, Reihen, Körperschaften und Klassifikationen können Sie sich weitere Titel des gewählten Begriffes anzeigen lassen.

Der Bereich Exemplarinformationen enthält zum einen Angaben über den Standort und die Verfügbarkeit der Exemplare. Zum anderen haben Sie die Möglichkeit, ausgeliehene Exemplare vorzumerken oder Exemplare aus dem Magazin zu bestellen.