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Micro and Nanomanufacturing

Micro and Nanomanufacturing
Kataloginformation
Feldname Details
Vorliegende Sprache eng
Hinweise auf parallele Ausgaben 277666848 Buchausg. u.d.T.: ‡Jackson, Mark J.: Micro and nanomanufacturing
ISBN 978-0-387-25874-4
Name Jackson, Mark J.
T I T E L Micro and Nanomanufacturing
Verlagsort Boston, MA
Verlag Springer Science+Business Media, LLC
Erscheinungsjahr 2007
2007
Umfang Online-Ressource (X, 699 p, digital)
Reihe SpringerLink. Bücher
Notiz / Fußnoten Includes bibliographical references and index
Weiterer Inhalt CONTENTS; 1. Principles of Micro- and Nanofabrication; 2. Microfabrication Using X-ray Lithography; 3. Manufacturing High Aspect Ratio Microstructures; 4. Meso-Micromachining; 5. Mechanical Micromachining; 6. Microgrinding; 7. Diamond Microcutting Tools; 8. Laser Micro-and Nanofabrication; 9. Micromachining Using Pulsed Water Droplets; 10. Diamond Nanogrinding; 11. Nanomachining; 12. Micro-and Nanomanufacturing; Subject Index
Titelhinweis Buchausg. u.d.T.: ‡Jackson, Mark J.: Micro and nanomanufacturing
ISBN ISBN 978-0-387-26132-4
Klassifikation TGB
TEC009070
TDPB
TEC027000
621
620/.5
620.5
330
TJ1-1570
ZN 3700
Kurzbeschreibung This, the corrected second printing of Jackson's authoritative volume on the subject, provides a comprehensive treatment of established micro and nanofabrication techniques. It addresses the needs of practicing manufacturing engineers by applying established and research laboratory manufacturing techniques to a wide variety of materials. Nanofabrication and nanotechnology present a great challenge to engineers and researchers as they manipulate atoms and molecules to produce single artifacts and submicron components and systems. The book provides up-to-date information on a number of subjects of interest to engineers who are seeking more knowledge of how nano and micro devices are designed and fabricated. They will learn about manufacturing and fabrication techniques at the micro and nanoscales, using bulk and surface micromachining techniques, and LiGA, and deep x-ray lithography to manufacture semiconductors. Also covered are subjects including producing master molds with micromachining, the deposition of thin films, pulsed water drop machining, and nanomachining.
1. Schlagwortkette Nanotechnologie
Mikrofertigung
ANZEIGE DER KETTE Nanotechnologie -- Mikrofertigung
2. Schlagwortkette Nanotechnologie
Mikrofertigung
ANZEIGE DER KETTE Nanotechnologie -- Mikrofertigung
SWB-Titel-Idn 26597920X
Signatur Springer E-Book
Bemerkungen Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse $uhttp://dx.doi.org/10.1007/b136902
Internetseite / Link Volltext
Siehe auch Volltext
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