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Handbook of sputter deposition technology: principles, technology and applications

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500022894 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500022894 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	eng
Name	Wasa, Kiyotaka
Name	Hayakawa, Shigeru
Name ANZEIGE DER KETTE	Hayakawa, Shigeru
T I T E L	Handbook of sputter deposition technology
Zusatz zum Titel	principles, technology and applications
Verlagsort	Park Ridge, NJ
Verlag	Noyes Publ.
Erscheinungsjahr	1992
Erscheinungsjahr	1992
Umfang	XII, 304 S. : Ill., graph. Darst.
Reihe	Materials science and process technology series
ISBN	ISBN 0-8155-1280-5
Klassifikation	621.38152
	621.3815/2
	UP 7550
	ZN 4150
	ZM 7620
1. Schlagwortkette	Sputtern
ANZEIGE DER KETTE	Sputtern
2. Schlagwortkette	Dünnschichttechnik
ANZEIGE DER KETTE	Dünnschichttechnik
SWB-Titel-Idn	030070643
Signatur	49 970

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00144020	ZN 4150 W313	Freihand		Hauptbibliothek .	. verlängert .	29 Mai 2024

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