Shortcuts
 
PageMenu- Hauptmenü-
Page content

Kategorienanzeige

MAB

Journal of vacuum science & technology: JVST ; an AVS journal
Kategorie Beschreibung
036aXD-US
037beng
077a016134419 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Journal of vacuum science and technology / B
077e077885465 Fortsetzung von: ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
077g1800461763 Fortgesetzt durch: ‡Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics
200bAmerican Vacuum Society ¬[Herausgebendes Organ]¬
331 Journal of vacuum science & technology
335 JVST ; an AVS journal
360 B, Microelectronics and nanometer structures
370aJournal of vacuum science and technology
410 New York
412 Published for the Society by the American Institute of Physics
425 1991-2010
425b1991
425c2010
433 Online-Ressource
527zzdb/797726-8 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Journal of vacuum science and technology / B
531zzdb/1475429-0 Fortsetzung von: ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
533zzdb/3117331-7 Fortgesetzt durch: ‡Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics
542aISSN 1520-8567
542cISSN 1071-1023
700b|530
700g|UA 4922
902s 209143274 Vakuumtechnik
012 1800461771
081 Journal of vacuum science & technology
200 $b9.1991,1 - 28.2010,1
655e$uhttps://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=WHZ&jour_id=743$xEZB
655e$uhttps://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=WHZ&owner=WHZ&anchor=&lang=de$xReadme
655e$uhttps://pubs.aip.org/avs/jvb$xVolltext
Schnellsuche