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Journal of vacuum science & technology: JVST ; an AVS journal
Kategorie	Beschreibung
036a	XD-US
037b	eng
077a	016134419 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Journal of vacuum science and technology / B
077e	1800461771 Fortsetzung von: ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
200b	American Vacuum Society ¬[Herausgebendes Organ]¬
331	Journal of vacuum science & technology
335	JVST ; an AVS journal
360	B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
370a	Journal of vacuum science and technology
410	New York, NY
412	AIP Publishing
425	2010-
425b	2010
433	Online-Ressource
527z	zdb/797726-8 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Journal of vacuum science and technology / B
531z	zdb/3117333-0 Fortsetzung von: ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
542a	ISSN 2166-2754
542c	ISSN 2166-2746
700b	\|530
700g	\|UA 4922
902s	209143274 Vakuumtechnik
012	1800461763
081	Journal of vacuum science & technology
200	$b28.2010,1 -
655e	$uhttps://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=WHZ&jour_id=743$xEZB
655e	$uhttps://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=WHZ&owner=WHZ&anchor=&lang=de$xReadme
655e	$uhttps://pubs.aip.org/avs/jvb$xVolltext