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Principles of plasma discharges and materials processing
Kategorie	Beschreibung
036a	XD-US
037b	eng
077a	1737952475 Erscheint auch als (Online-Ausgabe): ‡Lieberman, Michael A., 1940 - : Principles of plasma discharges and materials processing
077a	484921444 Online-Ausg.: ‡Principles of plasma discharges and materials processing
077v	2004058503
100	Lieberman, Michael A. ¬[VerfasserIn]¬
104a	Lichtenberg, Allan J. ¬[VerfasserIn]¬
331	Principles of plasma discharges and materials processing
403	Second edition
410	Hoboken, NJ
412	Wiley-Interscience
425	[2005]
425a	2005
433	XXXV, 757 Seiten : Illustrationen, Diagramme
501	Literaturverzeichnis: Seite 735-748
527	Erscheint auch als (Online-Ausgabe): ‡Lieberman, Michael A., 1940 - : Principles of plasma discharges and materials processing
527	Online-Ausg.: ‡Principles of plasma discharges and materials processing
540a	ISBN 978-0-471-72001-0 : Festeinband : EUR-D 97.90
540a	ISBN 0-471-72001-1 : Festeinband : EUR-D 97.90
700b	\|530.44
700b	\|530.4/4
700c	\|QC718.5.D9
700g	1556243073 ZM 7680
700g	1271486253 UR 8000
902s	209564059 Plasmadynamik
902s	209668350 Dünnschichttechnik
907s	209053135 Oberflächenbehandlung
907s	209068752 Plasmaphysik
907s	209696117 Elektrische Entladung
912s	211265098 ECR-Ätzen
912s	209667133 Plasmastrahlbearbeitung
912s	209959479 Plasmaätzen
917s	209564059 Plasmadynamik
922s	210541725 Plasmachemie
927s	209959479 Plasmaätzen
932s	20959683X Festkörperoberfläche
932s	209673303 Dünne Schicht
012	117343919
081	Lieberman, Michael A. <P>: Principles of plasma discharges and materials processing
100	71 701