036a | XD-US |
037b | eng |
077a | 077885465 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 1983-1990): ‡Journal of vacuum science & technology / B |
077a | 1800461771 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 1991-2010): ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
077a | 1800461763 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 2011-): ‡Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics |
077a | 369994949 Erscheint auch als (CD-ROM-Ausg.): ‡Journal of vacuum science & technology / A & B |
077e | 01500421X Vorg.: ‡Journal of vacuum science & technology |
200b | American Vacuum Society ¬[Herausgebendes Organ]¬ |
331 | Journal of vacuum science and technology |
335 | JVST ; an AVS journal |
360 | B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena |
370a | JVST |
410 | New York, NY |
412 | Inst. |
425 | 1983- |
425b | 1983 |
501 | 1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994 |
527z | zdb/1475429-0 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 1983-1990): ‡Journal of vacuum science & technology / B |
527z | zdb/3117333-0 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 1991-2010): ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
527z | zdb/3117331-7 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 2011-): ‡Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics |
527z | zdb/2676899-9 Erscheint auch als (CD-ROM-Ausg.): ‡Journal of vacuum science & technology / A & B |
531z | zdb/219313-9 Vorg.: ‡Journal of vacuum science & technology |
542a | ISSN 2166-2746 2011- |
542a | ISSN 1071-1023 1991-2010 |
542a | ISSN 0734-211X 1983-1990 |
700b | |530 |
902s | 209143274 Vakuumtechnik |
902s | 20917000X Zeitschrift |
012 | 016134419 |
081 | Journal of vacuum science and technology / B |
200 | $01$b25.2007 - 37.2019,1$fAQ 947 |