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MAB

Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Kategorie Beschreibung
036aXA-DE‡XD-US‡XA-GB
037bger
077a274678187 Online-Ausg. u.d.T.: ‡Ätzverfahren für die Mikrotechnik
100 Koehler, Michael
104bKöhler, Michael
331 Ätzverfahren für die Mikrotechnik
410 Weinheim ; New York ; Chichester ; Brisbane ; Singapore ; Toronto
412 Wiley-VCH
425 1998
425a1998
433 XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst.
501 Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology
517 Literaturverz. S. [371] - 386
527 Online-Ausg. u.d.T.: ‡Ätzverfahren für die Mikrotechnik
540aISBN 3-527-28869-4 : DM 298.00
700b|621.38152
700d|36
700g1271578360 ZM 7660
700g1271536382 VE 9670
700g1271513994 ZN 4150
700g1271594250 UQ 2800
700g1271578379 ZN 3750
902s 208838910 Ätzen
902s 210274557 Mikrosystemtechnik
012 064532348
081 Köhler, Michael <P>: Ätzverfahren für die Mikrotechnik
100 46 935
107 ZN 4150 K77
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