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MAB
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Kategorie
Beschreibung
036a
XA-DE‡XD-US‡XA-GB
037b
ger
077a
274678187 Online-Ausg. u.d.T.: ‡Ätzverfahren für die Mikrotechnik
100
Koehler, Michael
104b
Köhler, Michael
331
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
410
Weinheim ; New York ; Chichester ; Brisbane ; Singapore ; Toronto
412
Wiley-VCH
425
1998
425a
1998
433
XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst.
501
Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology
517
Literaturverz. S. [371] - 386
527
Online-Ausg. u.d.T.: ‡Ätzverfahren für die Mikrotechnik
540a
ISBN 3-527-28869-4 : DM 298.00
700b
|621.38152
700d
|36
700g
1271578360 ZM 7660
700g
1271536382 VE 9670
700g
1271513994 ZN 4150
700g
1271594250 UQ 2800
700g
1271578379 ZN 3750
902s
208838910 Ätzen
902s
210274557 Mikrosystemtechnik
012
064532348
081
Köhler, Michael <P>: Ätzverfahren für die Mikrotechnik
100
46 935
107
ZN 4150 K77
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