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MAB

Laser-assisted microtechnology
Kategorie	Beschreibung
036a	XA-DE‡XD-US‡XA-GB
037b	eng
100	Metev, Simeon M.
104a	Vejko, Vadim P.
331	Laser-assisted microtechnology
410	Berlin ; Heidelberg [u.a.]
412	Springer
425	1994
425a	1994
433	X, 240 S : Ill., graph. Darst
451	Springer series in materials science ; 19
454	Springer series in materials science
455	19
501	Literaturverz. S. 221 - 238
540a	ISBN 3-540-53925-5
540a	ISBN 0-387-53925-5
700b	\|621.3815/2/028
700b	\|621.366
700c	\|TK7836
700d	\|36
700d	\|42
700g	1271143593 UH 5750
902s	210274557 Mikrosystemtechnik
902s	209007966 Laser
012	040921220
081	Metev, Simeon M. <P>: Laser assisted microtechnology
100	41 069
107	UH 5750 M589
125a	sei