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Werkstoffe der Mikrotechnik: Basis für neue Produkte ; Tagung Berlin, 12. und 13. Oktober 1989
Kategorie	Beschreibung
036a	XA-DE
037b	ger
200b	Gesellschaft Feinwerktechnik
331	Werkstoffe der Mikrotechnik
335	Basis für neue Produkte ; Tagung Berlin, 12. und 13. Oktober 1989
410	Düsseldorf
412	VDI-Verl.
425	1989
425a	1989
433	385 S. : Ill., graph. Darst.
451	VDI-Berichte ; 796
454	VDI-Berichte
455	796
501	Literaturangaben
540b	ISBN 3-18-090796-5
700c	\|TA3
902s	210274557 Mikrosystemtechnik
902s	209159383 Werkstoff
902f	00000057 Kongreß
012	019104774
081	Werkstoffe der Mikrotechnik
100	26 392
107	ZN 3400 W488
125a	gro