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¬Die¬ chemische Gasphasenabscheidung von Siliziumkarbid und Siliziumnitrid zur Verbesserung der Eigenschaften poroeser keramischer Werkstoffe
Kategorie	Beschreibung
037b	ger
100	Bühler, Hans-Joachim
331	¬Die¬ chemische Gasphasenabscheidung von Siliziumkarbid und Siliziumnitrid zur Verbesserung der Eigenschaften poroeser keramischer Werkstoffe
425	1976
425a	1976
433	IV, 255 S. : Ill.
519	Karlsruhe, Univ., Diss., 1976
902s	208986774 Keramischer Werkstoff
902s	209856580 Hochtemperaturchemie
907s	209596996 Siliciumnitrid
907s	208884939 CVD-Verfahren
912s	209111666 Siliciumcarbid
912s	208884939 CVD-Verfahren
012	006406033
081	Bühler, Hans-Joachim <P>: ¬Die¬ chemische Gasphasenabscheidung von Siliziumkarbid und Siliziumnitrid zur Verbesserung der Eigenschaften poroeser keramischer Werkstoffe
100	23 097