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Schlagwörter:
MEMS
.
Nanoelektromechanik
.
Resonator
.
MEMS -- Nanoelektromechanik -- Resonator
.
Oberbegriffe Schlagwörter:
Elektromechanisches Bauelement
.
Mikrosystemtechnik
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Elektromechanik
.
Elektromechanisches Bauelement
.
Nanoelektronik
.
Unterbegriffe Schlagwörter:
Akustischer Resonator
.
Hohlraumresonator
.
Optischer Resonator
.
Verfasser:
Brand, Oliver
.
Dufour, Isabelle
.
Heinrich, Stephen M.
.
Josse, Fabien
.
Reihen:
0000110THVO0.................
.
11th volume
.
ADVANCED MICRO NANOSYSTEMS
.
Advanced micro & nanosystems ; 11th volume
.
Klassifikation:
621.3
.
621.3815
.
1271578379 ZN 3750
.
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