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Ivanov, Alexey : Silicon Anodization as a Structuring Technique : Literature Review, Modeling and Experiments / by Alexey Ivanov Wiesbaden : Springer Vieweg , 2018. - Online-Ressource (XXIX, 316 p. 141 illus., 3 illus. in color, online resource) () (Springer eBook Collection. Engineering) ISBN 978-3-658-19238-9 SW: 209205164 Silicium / 209071044 Poröser Stoff / 209719605 Anodische Oxidation <Oberflächenbehandlung> / 215467221 Opferschicht / 209791780 Elektropolieren / 209790261 Elektrochemisches Abtragen / 210074493 Lithografie <Halbleitertechnologie> / 20958002X Maskentechnik / 210274557 Mikrosystemtechnik / 208918914 Finite-Elemente-Methode <500269261 - > ------------------------------ *** Es sind keine Exemplare vorhanden *** -----------------------------------------------
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