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Zhang, Guo-Qiang : Mechanics of microelectronics / by G. Q. Zhang ; W. D. van Driel and X. J. Fan Dordrecht : Springer , 2006. - XIII, 563 S : Ill., graph. Darst () ISBN 1-4020-4934-X Gb. : EUR 128.35 (freier Pr.) ISBN 978-1-4020-4934-7 Driel, W. D. ¬van¬ Fan, X. J. Zhang, G. Q. SW: 210171197 Mikromechanik / 209034076 Mikroelektronik / 208970010 Integrierte Schaltung / 209869682 Integriertes Bauelement <500109722 - ZN 3700 Z63> ------------------------------ 00253329 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 3700 Z63 -----------------------------------------------
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