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RAK
Glück, Markus ¬[VerfasserIn]¬ : MEMS in der Mikrosystemtechnik : Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme; mit 6 Tabellen / Markus Glück. - 1. Aufl. Wiesbaden : Teubner , 2005. - 212 S. : Ill., graph. Darst. ; 240 mm x 170 mm () Literaturverzeichnis: Seite [201]-205 ISBN 3-519-00520-4 SW: 216760755 MEMS / 211101710 Sensorsystem / 00000171 Lehrbuch 213719606 Mikrosensor <500104566 - ZN 3750 G567> ------------------------------ 00211739 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 3750 G567 {Präsenz } 00211740 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 3750 G567 00211741 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 3750 G567 00211742 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 3750 G567 00211743 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 3750 G567 -----------------------------------------------
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