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Koehler, Michael : Ätzverfahren für die Mikrotechnik / Michael Köhler Weinheim ; New York ; Chichester ; Brisbane ; Singapore ; Toronto : Wiley-VCH , 1998. - XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst. () Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology ISBN 3-527-28869-4 : DM 298.00 Köhler, Michael SW: 208838910 Ätzen / 210274557 Mikrosystemtechnik <500052649 - ZN 4150 K77> ------------------------------ 00132252 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 4150 K77 00136571 Verfügbar in Hauptbibliothek Freihand ZN 4150 K77 -----------------------------------------------
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