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IEEE transactions on semiconductor manufacturing: a publication of the IEEE Components, Packaging, and Manufacturing Technology, the IEEE Electron Devices Society, the IEEE Reliability Society, the IEEE Solid State Circuits Society

Kataloginformation Katalogdatensatz500402897 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	eng
Hinweise auf parallele Ausgaben	014771950 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Institute of Electrical and Electronics Engineers: IEEE transactions on semiconductor manufacturing
Körperschaft	Institute of Electrical and Electronics Engineers ¬[VerfasserIn]¬
T I T E L	IEEE transactions on semiconductor manufacturing
Zusatz zum Titel	a publication of the IEEE Components, Packaging, and Manufacturing Technology, the IEEE Electron Devices Society, the IEEE Reliability Society, the IEEE Solid State Circuits Society
Weitere Titel	Transactions on semiconductor manufacturing
Verlagsort	New York, NY
Verlag	IEEE
Erscheinungsjahr	1988-
Erscheinungsjahr	1988
Umfang	Online-Ressource
ISSN	ISSN 1558-2345
Klassifikation	620
1. Schlagwortkette	Halbleitertechnologie
	Zeitschrift
	Online-Ressource
ANZEIGE DER KETTE	Halbleitertechnologie -- Zeitschrift -- Online-Ressource
SWB-Titel-Idn	094402310
Zusammenfassende Bestandsangaben	$b1.1988,1 -
Elektronische Adresse	$uhttps://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=WHZ&jour_id=1427$xEZB
	$uhttps://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=WHZ&owner=IEE&anchor=IEEE&lang=de$xReadme
	$uhttps://ieeexplore.ieee.org/servlet/opac?punumber=66$xVolltext
Internetseite / Link	H; 1.1988 -
Siehe auch	EZB

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