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Systemnachricht
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Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
ger
Hinweise auf parallele Ausgaben
1752321154 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Kowarsch, Robert: Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik
ISBN
978-3-18-527008-6
Name
Kowarsch, Robert ¬[VerfasserIn]¬
T I T E L
Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik
Verlagsort
Düsseldorf
Verlag
VDI Verlag
Erscheinungsjahr
[2021]
2021
Umfang
1 Online-Ressource (182 Seiten)
Reihe
Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 8, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; Nr. 1270
Fortschritt-Berichte VDI
Band
Nr. 1270
Hochschulschriftenvermerk
$bDissertation$cTechnische Universität Clausthal$d2020
Titelhinweis
Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Kowarsch, Robert: Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik
ISBN
ISBN 978-3-18-627008-5 PDF
Klassifikation
1680
620.20287
620
Kurzbeschreibung
Die vorliegende Dissertation wendet sich an Ingenieure und Wissenschaftler im Bereich der optischen Schwingungsmesstechnik und hochauflösenden Mikroskopie (Nanoskopie). Sie befasst sich mit der Modellierung und Simulation von zwei zentralen Herausforderungen der Gerätetechnik der heterodynen Laser-Interferometrie für die Schwingungsmessung an Mikrosystemen bis zu 6 GHz. Zum einen wird die Auswirkung der Gigahertz-Trägererzeugung mittels phasengekoppelter Laser in einer optoelektronischen Phasenregelschleife auf die Auflösung für Schwingungsamplituden im Subpicometer-Bereich theoretisch untersucht und im Experiment demonstriert. Zum anderen wird mittels reversibel optisch schaltbarer Absorbanz in einer photochromen Dünnschicht ein Verfahren zur örtlichen Hochauflösung jenseits der Beugungsgrenze für die Reflexionsmikroskopie untersucht. Anhand der Erkenntnisse werden Näherungsformeln sowie Hinweise für die Anwendung gegeben. Symbolverzeichnis IX Kurzfassung XIX 1 Einleitung ...
1. Schlagwortkette
Mikrosystemtechnik
Schallwelle
Schwingungsmessung
Vibrometer
Heterodyninterferometrie
Laserinterferometrie
Halbleiterlaser
Modenkopplung
ANZEIGE DER KETTE
Mikrosystemtechnik -- Schallwelle -- Schwingungsmessung -- Vibrometer -- Heterodyninterferometrie -- Laserinterferometrie -- Halbleiterlaser -- Modenkopplung
SWB-Titel-Idn
1750580896
Signatur
E-Book VDI
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttps://doi.org/10.51202/9783186270085
Internetseite / Link
Verlag
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