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Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology

Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology
Kataloginformation
Feldname Details
Vorliegende Sprache eng
ISBN 978-0-8194-9092-6
Name Xiao, Hong ¬[VerfasserIn]¬
T I T E L Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology
Auflage 2nd ed
Verlagsort Bellingham
Verlag Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Erscheinungsjahr 2012
2012
Umfang Online-Ressource
Reihe SPIE Press monograph ; PM220
Notiz / Fußnoten Description based upon print version of record
Weiterer Inhalt Table of Contents; Preface to the First Edition; Preface to the Second Edition; List of Acronyms; Chapter 1: Introduction; Chapter 2:Introduction to IntegratedCircuit Fabrication; Chapter 3: Semiconductor Basics; Chapter 4: Wafer Manufacturing, Epitaxy,and Substrate Engineering; Chapter 5: Thermal Processes; Chapter 6: Photolithography; Chapter 7: Plasma Basics; Chapter 8: Ion Implantation; Chapter 9: Etch; Chapter 10: Chemical Vapor Deposition and Dielectric Thin Films; Chapter 11: Metallization; Chapter 12: Chemical Mechanical Polishing; Chapter 13: Process Integration. Chapter 14: Integrated Circuit Processing TechnologiesChapter 15: Future Trends and Summary; Index
ISBN ISBN 978-0-8194-9093-3 : 130.58 (NL)
Klassifikation 621.3815/2
TK7871.85 .X53 2012
UP 2800
ZN 4800
ZN 4100
Kurzbeschreibung IC chip manufacturing processes are complex methods that draw upon many disciplines. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technologies, Second Edition describes the processes with minimal mathematics, chemistry, and physics; it covers advanced concepts while keeping the contents accessible to readers without advanced degrees. Designed as a textbook for college students, this book provides a realistic picture of the semiconductor industry and an in-depth discussion of IC chip fabrication technology
1. Schlagwortkette Halbleitertechnologie
ANZEIGE DER KETTE Halbleitertechnologie
2. Schlagwortkette Halbleiter
Fertigung
SWB-Titel-Idn 975603646X
Signatur E-Book ProQuest
Bemerkungen Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse $uhttps://ebookcentral.proquest.com/lib/fhzwickau/detail.action?docID=1120176
Internetseite / Link Volltext
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