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Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
eng
ISBN
978-0-8194-9092-6
Name
Xiao, Hong ¬[VerfasserIn]¬
T I T E L
Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology
Auflage
2nd ed
Verlagsort
Bellingham
Verlag
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Erscheinungsjahr
2012
2012
Umfang
Online-Ressource
Reihe
SPIE Press monograph ; PM220
Notiz / Fußnoten
Description based upon print version of record
Weiterer Inhalt
Table of Contents; Preface to the First Edition; Preface to the Second Edition; List of Acronyms; Chapter 1: Introduction; Chapter 2:Introduction to IntegratedCircuit Fabrication; Chapter 3: Semiconductor Basics; Chapter 4: Wafer Manufacturing, Epitaxy,and Substrate Engineering; Chapter 5: Thermal Processes; Chapter 6: Photolithography; Chapter 7: Plasma Basics; Chapter 8: Ion Implantation; Chapter 9: Etch; Chapter 10: Chemical Vapor Deposition and Dielectric Thin Films; Chapter 11: Metallization; Chapter 12: Chemical Mechanical Polishing; Chapter 13: Process Integration. Chapter 14: Integrated Circuit Processing TechnologiesChapter 15: Future Trends and Summary; Index
ISBN
ISBN 978-0-8194-9093-3 : 130.58 (NL)
ISBN 0-8194-9092-X
ISBN 978-0-8194-9092-6
Klassifikation
621.3815/2
621.38152
TK7871.85 .X53 2012
UP 2800
ZN 4800
ZN 4100
Kurzbeschreibung
IC chip manufacturing processes are complex methods that draw upon many disciplines. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technologies, Second Edition describes the processes with minimal mathematics, chemistry, and physics; it covers advanced concepts while keeping the contents accessible to readers without advanced degrees. Designed as a textbook for college students, this book provides a realistic picture of the semiconductor industry and an in-depth discussion of IC chip fabrication technology
1. Schlagwortkette
Halbleitertechnologie
ANZEIGE DER KETTE
Halbleitertechnologie
2. Schlagwortkette
Halbleiter
Fertigung
SWB-Titel-Idn
975603646X
Signatur
E-Book ProQuest
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttps://ebookcentral.proquest.com/lib/fhzwickau/detail.action?docID=1120176
Internetseite / Link
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