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Silicon Anodization as a Structuring Technique: Literature Review, Modeling and Experiments
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
eng
Hinweise auf parallele Ausgaben
494428058 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Ivanov, Alexey: Silicon anodization as a structuring technique
ISBN
978-3-658-19237-2
Name
Ivanov, Alexey
T I T E L
Silicon Anodization as a Structuring Technique
Zusatz zum Titel
Literature Review, Modeling and Experiments
Verlagsort
Wiesbaden
Verlag
Springer Vieweg
Erscheinungsjahr
2018
2018
Umfang
Online-Ressource (XXIX, 316 p. 141 illus., 3 illus. in color, online resource)
Reihe
SpringerLink. Bücher
Titelhinweis
Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Ivanov, Alexey: Silicon anodization as a structuring technique
Printed editionISBN: 978-3-658-19237-2
ISBN
ISBN 978-3-658-19238-9
Klassifikation
TDPB
TEC027000
620.5
T174.7
Kurzbeschreibung
Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed. Contents Silicon Anodization: State of the Art Experimental, Characterization and Simulation Methods Microscale Study of Anodization Process Anodization Process as a Structuring Technique: Experiments and Simulation Target Groups Researchers and students of microsystems technology, electrochemistry, microengineering Practitioners in the area of microsystems, silicon processing and electrochemical material processing
2. Kurzbeschreibung
Silicon Anodization: State of the Art -- Experimental, Characterization and Simulation Methods -- Microscale Study of Anodization Process -- Anodization Process as a Structuring Technique: Experiments and Simulation
1. Schlagwortkette
Silicium
Poröser Stoff
Anodische Oxidation <Oberflächenbehandlung>
Opferschicht
Elektropolieren
Elektrochemisches Abtragen
Lithografie <Halbleitertechnologie>
Maskentechnik
Mikrosystemtechnik
Finite-Elemente-Methode
SWB-Titel-Idn
494010622
Signatur
Springer E-Book
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-3-658-19238-9
Internetseite / Link
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