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Resist systems and processing of high aspect ratio micro- and nanostructures: SU-8 and its variations - a story of success : educational book : a short story of a universal MEMS material

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500268252 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500268252 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	eng
Name	Grimm, Jürgen ¬[HerausgeberIn]¬
Name	Gruetzner, Gabi ¬[HerausgeberIn]¬
Name ANZEIGE DER KETTE	Gruetzner, Gabi ¬[HerausgeberIn]¬
Name	Loechel, Bernd ¬[HerausgeberIn]¬
Körperschaft	Westsächsische Hochschule Zwickau ¬[Herausgebendes Organ]¬
T I T E L	Resist systems and processing of high aspect ratio micro- and nanostructures
Zusatz zum Titel	SU-8 and its variations - a story of success : educational book : a short story of a universal MEMS material
Auflage	1st edition
Verlagsort	Zwickau
Erscheinungsjahr	2017
Erscheinungsjahr	2017
Umfang	3277 Seiten : Illustrationen, Diagramme
ISBN	ISBN 978-3-00-058058-1
Klassifikation	ZN 3750
SWB-Titel-Idn	496814796
Signatur	200 996

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00405014	ZN 3750 G864	Freihand		Hauptbibliothek .	. NICHT AUSLEIHBAR .
00405015	ZN 3750 G864	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

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