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Mikrosystemtechnik: Vom Transistor zum Biochip

Kataloginformation Katalogdatensatz500241218 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Hinweise auf parallele Ausgaben	477303862 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Büttgenbach, Stephanus, 1945 - : Mikrosystemtechnik
ISBN	978-3-662-49772-2
Name	Büttgenbach, Stephanus
T I T E L	Mikrosystemtechnik
Zusatz zum Titel	Vom Transistor zum Biochip
Verlagsort	Berlin ; Heidelberg
Verlag	Springer
Erscheinungsjahr	2016
Erscheinungsjahr	2016
Umfang	Online-Ressource (VIII, 151 S. 52 Abb, online resource)
Reihe	Technik im Fokus
Titelhinweis	Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Büttgenbach, Stephanus, 1945 - : Mikrosystemtechnik
ISBN	ISBN 978-3-662-49773-9
Klassifikation	PDZ
	TEC000000
	600
	T-TX
	ZN 3750
Kurzbeschreibung	Einleitung -- Transistor und Halbleitertechnik -- Piezoresistiver Effekt -- Bulk Micromachining -- LIGA-Verfahren -- Surface Micromachining -- Atomic Force Microscope (AFM) -- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern -- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept -- Deep Reactive Ion Etching (DRIE) -- Soft-Lithografie -- Die Zukunft.
2. Kurzbeschreibung	Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.
1. Schlagwortkette	Mikrosystemtechnik
ANZEIGE DER KETTE	Mikrosystemtechnik
SWB-Titel-Idn	480943923
Signatur	Springer E-Book
Bemerkungen	Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse	$uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9
Internetseite / Link	Volltext
Siehe auch	Volltext

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