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Journal of vacuum science & technology: JVST ; the official journal of the American Vacuum Society

Kataloginformation
Feldname Details
Vorliegende Sprache eng
Hinweise auf parallele Ausgaben 016134419 Erscheint auch als (Druck-Ausgabe): ‡Journal of vacuum science and technology / B
369994949 Erscheint auch als (CD-ROM-Ausgabe): ‡Journal of vacuum science & technology / A & B
Körperschaft American Vacuum Society ¬[Herausgebendes Organ]¬
T I T E L Journal of vacuum science & technology
Zusatz zum Titel JVST ; the official journal of the American Vacuum Society
Unterreihen B, Microelectronics processing and phenomena
Weitere Titel Journal of vacuum science and technology
JVST
Verlagsort New York, NY
Verlag Inst.
Erscheinungsjahr 1983-1990
1983
1990
Umfang Online-Ressource
Notiz / Fußnoten Gesehen am 15. Dezember 2016
ISSN ISSN 2327-9877
Klassifikation 530
1. Schlagwortkette Halbleitertechnologie
Zeitschrift
Online-Ressource
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2. Schlagwortkette Dünnschichttechnik
Zeitschrift
Online-Ressource
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3. Schlagwortkette Vakuumphysik
Zeitschrift
Online-Ressource
ANZEIGE DER KETTE Vakuumphysik -- Zeitschrift -- Online-Ressource
SWB-Titel-Idn 077885465
Zusammenfassende Bestandsangaben $b1.1983,1 - 8.1990
Elektronische Adresse $uhttps://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=WHZ&jour_id=743$xEZB
$uhttps://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=WHZ&owner=WHZ&anchor=&lang=de$xReadme
$uhttps://pubs.aip.org/avs/jvb$xVolltext
Internetseite / Link EZB
Siehe auch Verlag
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