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Introduction to Microsystem Design

Introduction to Microsystem Design
Kataloginformation
Feldname Details
Vorliegende Sprache eng
Hinweise auf parallele Ausgaben 445924489 Druckausg.: ‡Schomburg, Werner Karl, 1955 - : Introduction to microsystem design
ISBN 978-3-662-47022-0
Name Schomburg, Werner Karl
T I T E L Introduction to Microsystem Design
Auflage 2nd ed. 2015
Verlagsort Berlin, Heidelberg ; s.l.
Verlag Springer Berlin Heidelberg
Erscheinungsjahr 2015
2015
Umfang Online-Ressource (XXIV, 374 p. 380 illus., 332 illus. in color, online resource)
Reihe RWTHedition
Notiz / Fußnoten Description based upon print version of record
Weiterer Inhalt Scaling LawsElastic deformations -- Thin Films -- Conductor Paths -- Electrical Measurements -- Membranes -- Strain gauges on membranes -- Beams -- Vibrations -- Capillaries -- Capacitive forces -- Piezoelectric effect -- Thermal actuators -- Micro optics -- Diffusion -- Micro valves -- Micro pumps -- Micro dosing -- Analogies of physical domains -- Mechanical devices for electronics.
Titelhinweis Druckausg.: ‡Schomburg, Werner Karl, 1955 - : Introduction to microsystem design
ISBN ISBN 978-3-662-47023-7
Klassifikation TEC008070
TJF
TEC008000
621.381
TK7800-8360
TK7874-7874.9
ZN 3750
Kurzbeschreibung Scaling Laws -- Elastic deformations -- Thin Films -- Conductor Paths -- Electrical Measurements -- Membranes -- Strain gauges on membranes -- Beams -- Vibrations -- Capillaries -- Capacitive forces -- Piezoelectric effect -- Thermal actuators -- Micro optics -- Diffusion -- Micro valves -- Micro pumps -- Micro dosing -- Analogies of physical domains -- Mechanical devices for electronics.
2. Kurzbeschreibung This book systematically describes the design options for micro systems as well as the equations needed for calculating the behavior of their basic elements. The fundamental equations needed to calculate the effects and forces that are important in micro systems are also provided. Readers do not require previous knowledge of fabrication processes. This second edition of the volume is a thoroughly revised and extended update. The target audience primarily comprises experts in the field of micro systems and the book is also suitable for graduate engineering students. For quick reference, equations are presented in tables that can be found in an index at the end of the book. .
1. Schlagwortkette Mikrosystemtechnik
Systementwurf
SWB-Titel-Idn 434884219
Signatur Springer E-Book
Bemerkungen Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse $uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-47023-7
Internetseite / Link Volltext
Siehe auch Volltext
Siehe auch Cover
Kataloginformation500198330 Datensatzanfang . Kataloginformation500198330 Seitenanfang .
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