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Introduction to Microsystem Design
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Details
Vorliegende Sprache
eng
Hinweise auf parallele Ausgaben
445924489 Druckausg.: ‡Schomburg, Werner Karl, 1955 - : Introduction to microsystem design
ISBN
978-3-662-47022-0
Name
Schomburg, Werner Karl
T I T E L
Introduction to Microsystem Design
Auflage
2nd ed. 2015
Verlagsort
Berlin, Heidelberg ; s.l.
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erscheinungsjahr
2015
2015
Umfang
Online-Ressource (XXIV, 374 p. 380 illus., 332 illus. in color, online resource)
Reihe
RWTHedition
Notiz / Fußnoten
Description based upon print version of record
Weiterer Inhalt
Scaling LawsElastic deformations -- Thin Films -- Conductor Paths -- Electrical Measurements -- Membranes -- Strain gauges on membranes -- Beams -- Vibrations -- Capillaries -- Capacitive forces -- Piezoelectric effect -- Thermal actuators -- Micro optics -- Diffusion -- Micro valves -- Micro pumps -- Micro dosing -- Analogies of physical domains -- Mechanical devices for electronics.
Titelhinweis
Druckausg.: ‡Schomburg, Werner Karl, 1955 - : Introduction to microsystem design
ISBN
ISBN 978-3-662-47023-7
Klassifikation
TEC008070
TJF
TEC008000
621.381
TK7800-8360
TK7874-7874.9
ZN 3750
Kurzbeschreibung
Scaling Laws -- Elastic deformations -- Thin Films -- Conductor Paths -- Electrical Measurements -- Membranes -- Strain gauges on membranes -- Beams -- Vibrations -- Capillaries -- Capacitive forces -- Piezoelectric effect -- Thermal actuators -- Micro optics -- Diffusion -- Micro valves -- Micro pumps -- Micro dosing -- Analogies of physical domains -- Mechanical devices for electronics.
2. Kurzbeschreibung
This book systematically describes the design options for micro systems as well as the equations needed for calculating the behavior of their basic elements. The fundamental equations needed to calculate the effects and forces that are important in micro systems are also provided. Readers do not require previous knowledge of fabrication processes. This second edition of the volume is a thoroughly revised and extended update. The target audience primarily comprises experts in the field of micro systems and the book is also suitable for graduate engineering students. For quick reference, equations are presented in tables that can be found in an index at the end of the book. .
1. Schlagwortkette
Mikrosystemtechnik
Systementwurf
SWB-Titel-Idn
434884219
Signatur
Springer E-Book
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-47023-7
Internetseite / Link
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