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MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

Kataloginformation Katalogdatensatz500195731 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Hinweise auf parallele Ausgaben	118766627 Druckausg.: ‡Glück, Markus, 1969 - : MEMS in der Mikrosystemtechnik
ISBN	978-3-519-00520-9
Name	Glück, Markus
T I T E L	MEMS in der Mikrosystemtechnik
Zusatz zum Titel	Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Verlagsort	Wiesbaden
Verlag	Vieweg+Teubner Verlag
Erscheinungsjahr	2005
Erscheinungsjahr	2005
Umfang	Online-Ressource (212 S, online resource)
Reihe	SpringerLink. Bücher
Titelhinweis	Druckausg.: ‡Glück, Markus, 1969 - : MEMS in der Mikrosystemtechnik
ISBN	ISBN 978-3-663-10778-1
Klassifikation	TBC
	TEC000000
	620
	TA1-2040
	ZN 3750
Kurzbeschreibung	Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen
1. Schlagwortkette	MEMS
1. Schlagwortkette	Sensorsystem
SWB-Titel-Idn	429154259
Signatur	Springer E-Book
Bemerkungen	Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse	$uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-3-663-10778-1
Internetseite / Link	Volltext
Siehe auch	Cover
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