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Systemnachricht
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MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
ger
Hinweise auf parallele Ausgaben
118766627 Druckausg.: ‡Glück, Markus, 1969 - : MEMS in der Mikrosystemtechnik
ISBN
978-3-519-00520-9
Name
Glück, Markus
T I T E L
MEMS in der Mikrosystemtechnik
Zusatz zum Titel
Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Verlagsort
Wiesbaden
Verlag
Vieweg+Teubner Verlag
Erscheinungsjahr
2005
2005
Umfang
Online-Ressource (212 S, online resource)
Reihe
SpringerLink. Bücher
Titelhinweis
Druckausg.: ‡Glück, Markus, 1969 - : MEMS in der Mikrosystemtechnik
ISBN
ISBN 978-3-663-10778-1
Klassifikation
TBC
TEC000000
620
TA1-2040
ZN 3750
Kurzbeschreibung
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen
1. Schlagwortkette
MEMS
Sensorsystem
SWB-Titel-Idn
429154259
Signatur
Springer E-Book
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-3-663-10778-1
Internetseite / Link
Volltext
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