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Schallwandler in Silzium-Technologie

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500155657 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500155657 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Name	Teeffelen, Kathrin ¬van¬
T I T E L	Schallwandler in Silzium-Technologie
Verlagsort	Aachen
Verlag	Shaker
Erscheinungsjahr	2009
Erscheinungsjahr	2009
Umfang	146 S. : Ill., graph. Darst.
Reihe	Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; 9
Reihe	Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Band	9
Band	Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2009
ISBN	ISBN 978-3-8322-8657-6
Klassifikation	621.38284
	620
	ZN 3750
1. Schlagwortkette	Kondensatormikrofon
	MEMS
	Technische Membran
	Opferschicht
	Siliciumdioxid
	Herstellung
1. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE	Kondensatormikrofon -- MEMS -- Technische Membran -- Opferschicht -- Siliciumdioxid -- Herstellung
2. Schlagwortkette	Kondensatormikrofon
	MEMS
	Technische Membran
	Opferschicht
	Silicium
	Germanium
SWB-Titel-Idn	313559201
Signatur	81 469
Internetseite / Link	Inhaltsverzeichnis

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00326263	ZN 3750 T258	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

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