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Dynamics of Microelectromechanical Systems

Dynamics of Microelectromechanical Systems
Kataloginformation
Feldname Details
Vorliegende Sprache eng
Hinweise auf parallele Ausgaben 264525221 Buchausg. u.d.T.: ‡Lobontiu, Nicolae: Dynamics of microelectromechanical systems
ISBN 978-0-387-36800-9
Name Lobontiu, Nicolae
T I T E L Dynamics of Microelectromechanical Systems
Verlagsort Boston, MA
Verlag Springer US
Erscheinungsjahr 2007
2007
Umfang Online-Ressource (digital)
Reihe Microsystems ; 17
Titelhinweis Buchausg. u.d.T.: ‡Lobontiu, Nicolae: Dynamics of microelectromechanical systems
ISBN ISBN 978-0-387-68195-5
Klassifikation TJF
TEC008000
TEC008070
TGB
TEC009070
621.381
621
TK7800-8360
TK7874-7874.9
ZN 3750
ZN 3700
Kurzbeschreibung Microcantilevers and Microbridges: Bending and Torsion Resonant Frequencies -- Micromechanical Systems: Modal Analysis -- Energy Losses in MEMS and Equivalent Viscous Damping -- Frequency and Time Response of MEMS.
2. Kurzbeschreibung This work presents a systematic view of the dynamics of MEMS (microelectromechanical systems), microstructures, and their responses. The focus is on the mecahnical/structural micro domain and the compliant nature of mechanical transmission. Features of this work include: An in-depth treatment of problems that involve reliable modeling, analysis and design, Analytical models with correct dependences on service dimensions, Cantilever based systems for nanofabrication researchers and designers, and Dynamics of complex spring and beam microsystems. Although not designed for a specific course, this material could be used as a text at the upper-undergraduate/graduate level, and, as such, it contains numerous fully-solved examples as well as many end-of-the-chapter proposed problems. This is a follow up to the book, Mechanics of Microelectromechanical Systems, by Lobontiu and Garcia (Springer 2004), but the material in this new book is self-contained. Dynamics of Microelectromechanical Systems is a timely text and reference for microstructural engineers, microengineers, and MEMS specialists.
1. Schlagwortkette MEMS
ANZEIGE DER KETTE MEMS
SWB-Titel-Idn 326999302
Signatur Springer E-Book
Bemerkungen Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse $uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-68195-5
Internetseite / Link Cover
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