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Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500148927 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500148927 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Name	Zilbauer, Thomas
T I T E L	Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid
Auflage	1. Aufl.
Verlagsort	Göttingen
Verlag	Cuvillier
Erscheinungsjahr	2010
Erscheinungsjahr	2010
Umfang	VII, 150 S. : Ill., graph. Darst.
Umfang	Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2009
ISBN	ISBN 978-3-86955-270-5 KART. : EUR 28.10
Klassifikation	540
	621.3
	670
1. Schlagwortkette	Atomschichtepitaxie
	CVD-Verfahren
	Hafniumdioxid
	High-k-Dielektrikum
ANZEIGE DER KETTE	Atomschichtepitaxie -- CVD-Verfahren -- Hafniumdioxid -- High-k-Dielektrikum
2. Schlagwortkette	Atomschichtepitaxie
	CVD-Verfahren
	Hafniumdioxid
ANZEIGE DER KETTE	Atomschichtepitaxie -- CVD-Verfahren -- Hafniumdioxid
SWB-Titel-Idn	323508847
Signatur	80 071
Internetseite / Link	Inhaltsverzeichnis

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00313023	ZM 7680 Z78	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .
00313024	ZM 7680 Z78	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

Titel vormerken Katalogdatensatz500148927

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