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Lecture notes on principles of plasma processing

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500148701 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500148701 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	eng
Name	Chen, Francis F.
Name	Chang, Jane P.
Name ANZEIGE DER KETTE	Chang, Jane P.
T I T E L	Lecture notes on principles of plasma processing
Verlagsort	New York, NY [u.a.]
Verlag	Kluwer Academic/Plenum
Erscheinungsjahr	2003
Erscheinungsjahr	2003
Umfang	IX, 208 S. : Ill., graph. Darst.
Format	28 cm.
Beilagen	1 CD-ROM
ISBN	ISBN 0-306-47497-2
Klassifikation	621.044
Klassifikation	UR 8000
1. Schlagwortkette	Plasmaphysik
ANZEIGE DER KETTE	Plasmaphysik
SWB-Titel-Idn	271735430
Signatur	80 238
Bemerkungen	Ohne CD-ROM
Internetseite / Link	Cover
Siehe auch	Inhaltstext

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00327700	UR 8000 C518	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

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