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Copper Interconnect Technology
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
eng
Hinweise auf parallele Ausgaben
277081661 Buchausg. u.d.T.: ‡Gupta, Tapan, 1941 - : Copper interconnect technology
ISBN
978-1-4419-0075-3
Name
Gupta, Tapan
T I T E L
Copper Interconnect Technology
Verlagsort
New York, NY
Verlag
Springer US
Erscheinungsjahr
2009
2009
Umfang
Online-Ressource (XIV, 418p. 568 illus., 284 illus. in color, digital)
Reihe
SpringerLink. Bücher
Titelhinweis
Buchausg. u.d.T.: ‡Gupta, Tapan, 1941 - : Copper interconnect technology
ISBN
ISBN 978-1-4419-0076-0
Klassifikation
TJF
TEC008000
TEC008070
621.381
620
TK7800-8360
TK7874-7874.9
ZN 4100
1. Schlagwortkette
Integrierte Schaltung
Kontaktieren
Kupfer
Fotolithografie <Halbleitertechnologie>
Ätzen
ANZEIGE DER KETTE
Integrierte Schaltung -- Kontaktieren -- Kupfer -- Fotolithografie
-- Ätzen
SWB-Titel-Idn
320488888
Signatur
Springer E-Book
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttp://dx.doi.org/10.1007/978-1-4419-0076-0
Internetseite / Link
Volltext
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Inhaltsverzeichnis
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Kapitel 1
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Einführung/Vorwort
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