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Einfluss der Erregungsfrequenz beim Sputterprozess

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Kataloginformation Katalogdatensatz500140520 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Name	Träger, Ralph
T I T E L	Einfluss der Erregungsfrequenz beim Sputterprozess
Auflage	1. Aufl.
Verlagsort	Göttingen
Verlag	Cuvillier
Erscheinungsjahr	2005
Erscheinungsjahr	2005
Umfang	142 S : Ill., graph. Darst
Format	21 cm
Format	Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2005
ISBN	ISBN 3-86537-607-X
Klassifikation	670
Klassifikation	UP 9350
1. Schlagwortkette	Sputtern
	Plasmafrequenz
	Versuchsplanung
SWB-Titel-Idn	254947034
Signatur	77 709

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00405969	UP 9350 T764	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .
00301978	UP 9350 T764	Freihand		Hauptbibliothek .	. verlängert .	27 Aug 2024

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