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Micro-nanofabrication: technologies and applications

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500123439 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500123439 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	eng
Name	Cui, Zheng
T I T E L	Micro-nanofabrication
Zusatz zum Titel	technologies and applications
Verlagsort	Beijing [u.a.]
Verlag	Springer [u.a.]
Verlag	Springer
Erscheinungsjahr	2005
Erscheinungsjahr	2005
Umfang	X, 304 S : Ill., graph. Darst
Format	235 mm x 155 mm
Notiz / Fußnoten	Literaturangaben
ISBN	ISBN 978-3-540-28922-7
	ISBN 978-7-04-017663-6
	ISBN 3-540-28922-4 Gb. : EUR 74.85 (freier Pr.)
	ISBN 7-04-017663-7
Verlags- / Firmen-	11546153
Klassifikation	620.5
	620
	620
	670
	TA418.9.N35
	ZN 3700
	ZN 3750
1. Schlagwortkette	Mikrosystemtechnik
1. Schlagwortkette	Nanotechnologie
1. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE	Mikrosystemtechnik -- Nanotechnologie
2. Schlagwortkette	Fotolithografie
	Elektronenstrahllithografie
	Ionenstrahllithografie
	Ätzen
	MEMS
	Nanostrukturiertes Material
ANZEIGE DER KETTE	Fotolithografie -- Elektronenstrahllithografie -- Ionenstrahllithografie -- Ätzen -- MEMS -- Nanostrukturiertes Material
SWB-Titel-Idn	121808106
Signatur	74 034
Internetseite / Link	Inhaltsverzeichnis
Siehe auch	Inhaltstext
Siehe auch	Cover
Siehe auch	Inhaltstext

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00341504	ZN 3700 C966	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

Titel vormerken Katalogdatensatz500123439

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