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Micro and Nanomanufacturing
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
eng
Hinweise auf parallele Ausgaben
277666848 Buchausg. u.d.T.: ‡Jackson, Mark J.: Micro and nanomanufacturing
ISBN
978-0-387-25874-4
Name
Jackson, Mark J.
T I T E L
Micro and Nanomanufacturing
Verlagsort
Boston, MA
Verlag
Springer Science+Business Media, LLC
Erscheinungsjahr
2007
2007
Umfang
Online-Ressource (X, 699 p, digital)
Reihe
SpringerLink. Bücher
Notiz / Fußnoten
Includes bibliographical references and index
Weiterer Inhalt
CONTENTS; 1. Principles of Micro- and Nanofabrication; 2. Microfabrication Using X-ray Lithography; 3. Manufacturing High Aspect Ratio Microstructures; 4. Meso-Micromachining; 5. Mechanical Micromachining; 6. Microgrinding; 7. Diamond Microcutting Tools; 8. Laser Micro-and Nanofabrication; 9. Micromachining Using Pulsed Water Droplets; 10. Diamond Nanogrinding; 11. Nanomachining; 12. Micro-and Nanomanufacturing; Subject Index
Titelhinweis
Buchausg. u.d.T.: ‡Jackson, Mark J.: Micro and nanomanufacturing
ISBN
ISBN 978-0-387-26132-4
Klassifikation
TGB
TEC009070
TDPB
TEC027000
621
620/.5
620.5
330
TJ1-1570
ZN 3700
Kurzbeschreibung
This, the corrected second printing of Jackson's authoritative volume on the subject, provides a comprehensive treatment of established micro and nanofabrication techniques. It addresses the needs of practicing manufacturing engineers by applying established and research laboratory manufacturing techniques to a wide variety of materials. Nanofabrication and nanotechnology present a great challenge to engineers and researchers as they manipulate atoms and molecules to produce single artifacts and submicron components and systems. The book provides up-to-date information on a number of subjects of interest to engineers who are seeking more knowledge of how nano and micro devices are designed and fabricated. They will learn about manufacturing and fabrication techniques at the micro and nanoscales, using bulk and surface micromachining techniques, and LiGA, and deep x-ray lithography to manufacture semiconductors. Also covered are subjects including producing master molds with micromachining, the deposition of thin films, pulsed water drop machining, and nanomachining.
1. Schlagwortkette
Nanotechnologie
Mikrofertigung
ANZEIGE DER KETTE
Nanotechnologie -- Mikrofertigung
2. Schlagwortkette
Nanotechnologie
Mikrofertigung
ANZEIGE DER KETTE
Nanotechnologie -- Mikrofertigung
SWB-Titel-Idn
26597920X
Signatur
Springer E-Book
Bemerkungen
Elektronischer Volltext - Campuslizenz
Elektronische Adresse
$uhttp://dx.doi.org/10.1007/b136902
Internetseite / Link
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