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Principles of plasma discharges and materials processing
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Exemplarinformationen
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Kataloginformation
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Kataloginformation
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Details
Vorliegende Sprache
eng
Hinweise auf parallele Ausgaben
1737952475 Erscheint auch als (Online-Ausgabe): ‡Lieberman, Michael A., 1940 - : Principles of plasma discharges and materials processing
484921444 Online-Ausg.: ‡Principles of plasma discharges and materials processing
Name
Lieberman, Michael A. ¬[VerfasserIn]¬
Lichtenberg, Allan J. ¬[VerfasserIn]¬
ANZEIGE DER KETTE
Lichtenberg, Allan J. ¬[VerfasserIn]¬
T I T E L
Principles of plasma discharges and materials processing
Auflage
Second edition
Verlagsort
Hoboken, NJ
Verlag
Wiley-Interscience
Erscheinungsjahr
[2005]
2005
Umfang
XXXV, 757 Seiten : Illustrationen, Diagramme
Notiz / Fußnoten
Literaturverzeichnis: Seite 735-748
Titelhinweis
Erscheint auch als (Online-Ausgabe): ‡Lieberman, Michael A., 1940 - : Principles of plasma discharges and materials processing
Online-Ausg.: ‡Principles of plasma discharges and materials processing
ISBN
ISBN 978-0-471-72001-0 : Festeinband : EUR-D 97.90
ISBN 0-471-72001-1 : Festeinband : EUR-D 97.90
Klassifikation
530.44
530.4/4
QC718.5.D9
ZM 7680
UR 8000
1. Schlagwortkette
Plasmadynamik
Dünnschichttechnik
1. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE
Plasmadynamik -- Dünnschichttechnik
2. Schlagwortkette
Oberflächenbehandlung
Plasmaphysik
Elektrische Entladung
2. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE
Oberflächenbehandlung -- Plasmaphysik -- Elektrische Entladung
3. Schlagwortkette
ECR-Ätzen
Plasmastrahlbearbeitung
Plasmaätzen
ANZEIGE DER KETTE
ECR-Ätzen -- Plasmastrahlbearbeitung -- Plasmaätzen
4. Schlagwortkette
Plasmadynamik
ANZEIGE DER KETTE
Plasmadynamik
5. Schlagwortkette
Plasmachemie
ANZEIGE DER KETTE
Plasmachemie
6. Schlagwortkette
Plasmaätzen
ANZEIGE DER KETTE
Plasmaätzen
7. Schlagwortkette
Festkörperoberfläche
Dünne Schicht
ANZEIGE DER KETTE
Festkörperoberfläche -- Dünne Schicht
SWB-Titel-Idn
117343919
Signatur
71 701
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00310372
UR 8000 L716(2)
Freihand
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00310373
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22 Aug 2024
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