Vorliegende Sprache |
eng |
Hinweise auf parallele Ausgaben |
077885465 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 1983-1990): ‡Journal of vacuum science & technology / B |
1800461771 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 1991-2010): ‡Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
1800461763 Erscheint auch als (Online-Ausgabe, 2011-): ‡Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics |
369994949 Erscheint auch als (CD-ROM-Ausg.): ‡Journal of vacuum science & technology / A & B |
Körperschaft |
American Vacuum Society ¬[Herausgebendes Organ]¬ |
T I T E L |
Journal of vacuum science and technology |
Zusatz zum Titel |
JVST ; an AVS journal |
Unterreihen |
B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena |
Weitere Titel |
JVST |
Verlagsort |
New York, NY |
Verlag |
Inst. |
Erscheinungsjahr |
1983- |
1983 |
Notiz / Fußnoten |
1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994 |
ISSN |
ISSN 2166-2746 2011- |
ISSN 1071-1023 1991-2010 |
ISSN 0734-211X 1983-1990 |
Klassifikation |
530 |
1. Schlagwortkette |
Vakuumtechnik |
Zeitschrift |
ANZEIGE DER KETTE |
Vakuumtechnik -- Zeitschrift |
SWB-Titel-Idn |
016134419 |
Zusammenfassende Bestandsangaben |
$01$b25.2007 - 37.2019,1$fAQ 947 |
Internetseite / Link |
http://scitation.aip.org/dbt/dbt.jsp?KEY=JVTBD9 |