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Silicon wafer bonding technology: for VLSI and MEMS applications
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Exemplarinformationen
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
eng
Name
Iyer, Subramanian S. ¬[Hrsg.]¬
Auberton-Hervé, Andre J.
Name ANZEIGE DER KETTE
Auberton-Hervé, Andre J.
Körperschaft
Institution of Electrical Engineers
T I T E L
Silicon wafer bonding technology
Zusatz zum Titel
for VLSI and MEMS applications
Verlagsort
London
Verlag
Institution of Electrical Engineers
Erscheinungsjahr
2002
2002
Umfang
XXV, 149 S : Ill., graph. Darst
Format
26 cm
Reihe
EMIS processing series ; 1
EMIS processing series
Band
1
Notiz / Fußnoten
Includes bibliographical references and index
ISBN
ISBN 0-85296-039-5 : £49.00 : Formerly CIP
Klassifikation
621.38152
TK7871.85
ZN 4192
1. Schlagwortkette
Silicium
Wafer
Bonden
VLSI
Mikromechanik
ANZEIGE DER KETTE
Silicium -- Wafer -- Bonden -- VLSI -- Mikromechanik
2. Schlagwortkette
SOI-Technik
ANZEIGE DER KETTE
SOI-Technik
SWB-Titel-Idn
098611003
Signatur
60 074
Internetseite / Link
Inhaltsverzeichnis
Siehe auch
Verlag
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Exemplarinformationen
Barcode
Regalstandort
Literaturabteilung
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
Fälligkeitsdat.
00204772
ZN 4980 I98
Freihand
Hauptbibliothek
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Verfügbar
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