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Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization
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Exemplarinformationen
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
eng
Name
Madou, Marc J.
T I T E L
Fundamentals of microfabrication
Zusatz zum Titel
the science of miniaturization
Auflage
2. ed.
Verlagsort
Boca Raton, Fla. [u.a.]
Verlag
CRC Press
Erscheinungsjahr
2002
2002
Umfang
723 S. : Ill., graph. Darst.
Format
29 cm
Notiz / Fußnoten
3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd.
Literaturangaben
ISBN
ISBN 0-8493-0826-7 alk. paper
Klassifikation
621.38152
621.3815/2
TK7836
ZN 4900
1. Schlagwortkette
Lithografie <Halbleitertechnologie>
Mikrosystemtechnik
Mikromechanik
Entwurf
Konstruktion
ANZEIGE DER KETTE
Lithografie
-- Mikrosystemtechnik -- Mikromechanik -- Entwurf -- Konstruktion
SWB-Titel-Idn
09821781X
Signatur
58 686
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Exemplarinformationen
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Literaturabteilung
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
Fälligkeitsdat.
00213927
ZN 4900 M183(2)
Freihand
Hauptbibliothek
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Verfügbar
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Freihand
Hauptbibliothek
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Verfügbar
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