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Handbook of advanced plasma processing techniques

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500064111 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500064111 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	eng
Name	Shul, Randy J. ¬[Hrsg.]¬
T I T E L	Handbook of advanced plasma processing techniques
Verlagsort	Berlin ; Heidelberg [u.a.]
Verlag	Springer
Erscheinungsjahr	2000
Erscheinungsjahr	2000
Umfang	XVI, 653 S. : Ill., graph. Darst.
Reihe	Online library. physics and astronomy
Notiz / Fußnoten	Includes bibliographical references and index
ISBN	ISBN 978-3-642-63096-5
ISBN	ISBN 3-540-66772-5 (alk. paper)
Klassifikation	621.044
	TA2020.H35 2000
	36
	ZM 7680
1. Schlagwortkette	Plasmaätzen
1. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE	Plasmaätzen
2. Schlagwortkette	PECVD-Verfahren
2. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE	PECVD-Verfahren
3. Schlagwortkette	Plasmatechnik
3. Schlagwortkette	Plasmadiagnostik
3. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE	Plasmatechnik -- Plasmadiagnostik
4. Schlagwortkette	Plasmaphysik
4. Schlagwortkette ANZEIGE DER KETTE	Plasmaphysik
5. Schlagwortkette	Plasmaätzen
ANZEIGE DER KETTE	Plasmaätzen
6. Schlagwortkette	PECVD-Verfahren
ANZEIGE DER KETTE	PECVD-Verfahren
7. Schlagwortkette	Plasmatechnik
7. Schlagwortkette	Plasmadiagnostik
ANZEIGE DER KETTE	Plasmatechnik -- Plasmadiagnostik
8. Schlagwortkette	Plasmaphysik
ANZEIGE DER KETTE	Plasmaphysik
SWB-Titel-Idn	087213370
Signatur	57 436
Internetseite / Link	Kapitel 1
Siehe auch	Cover

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00243189	ZM 7680 S562	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .
00244281	ZM 7680 S562	Freihand		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

Titel vormerken Katalogdatensatz500064111

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