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Herstellung und Eigenschaften DC-reaktiv gesputterter Siliciumnitridschichten

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500062027 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500062027 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Name	Krautheim, Gunter
T I T E L	Herstellung und Eigenschaften DC-reaktiv gesputterter Siliciumnitridschichten
Erscheinungsjahr	1990
Erscheinungsjahr	1990
Umfang	VIII, 124 Bl. : Ill., graph. Darst.
Umfang	Zwickau, Techn. Hochsch., Diss. B, 1990
1. Schlagwortkette	Siliciumnitrid
	Reaktives Sputtern
	Dünne Schicht
	Stoffeigenschaft
	Experiment
	Computersimulation
ANZEIGE DER KETTE	Siliciumnitrid -- Reaktives Sputtern -- Dünne Schicht -- Stoffeigenschaft -- Experiment -- Computersimulation
SWB-Titel-Idn	083569340
Signatur	Q 3048

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00039924	Q 3048/2	Magazin		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .
00237332	Q 3048/1P	Magazin		Hauptbibliothek .	. NICHT AUSLEIHBAR .

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