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Ätzverfahren für die Mikrotechnik
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Exemplarinformationen
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Kataloginformation
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Kataloginformation
Feldname
Details
Vorliegende Sprache
ger
Hinweise auf parallele Ausgaben
274678187 Online-Ausg. u.d.T.: ‡Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Name
Koehler, Michael
Köhler, Michael
ANZEIGE DER KETTE
Köhler, Michael
T I T E L
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Verlagsort
Weinheim ; New York ; Chichester ; Brisbane ; Singapore ; Toronto
Verlag
Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
1998
1998
Umfang
XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst.
Notiz / Fußnoten
Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology
Weiterer Inhalt
Literaturverz. S. [371] - 386
Titelhinweis
Online-Ausg. u.d.T.: ‡Ätzverfahren für die Mikrotechnik
ISBN
ISBN 3-527-28869-4 : DM 298.00
Klassifikation
621.38152
36
ZM 7660
VE 9670
ZN 4150
UQ 2800
ZN 3750
1. Schlagwortkette
Ätzen
Mikrosystemtechnik
SWB-Titel-Idn
064532348
Signatur
46 935
ZN 4150 K77
Internetseite / Link
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Exemplarinformationen
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Literaturabteilung
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
Fälligkeitsdat.
00132252
ZN 4150 K77
Freihand
Hauptbibliothek
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Verfügbar
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00136571
ZN 4150 K77
Freihand
Hauptbibliothek
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Verfügbar
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