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Simulation von Ätz- und Depositionsprozessen

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500021641 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500021641 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Name	Thoren, Peter
T I T E L	Simulation von Ätz- und Depositionsprozessen
Erscheinungsjahr	1991
Erscheinungsjahr	1991
Umfang	92 S. : Ill., graph. Darst.
Umfang	Kassel, Univ., Diss., 1991
1. Schlagwortkette	Integrierte Schaltung
	Ätzen
	Simulation
ANZEIGE DER KETTE	Integrierte Schaltung -- Ätzen -- Simulation
SWB-Titel-Idn	028601149
Signatur	29 320

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Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00000595	29 320/1	Magazin		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

Titel vormerken Katalogdatensatz500021641

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