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Herstellungsverfahren und Materialeigenschaften von Titandisilizid für Leitbahnen und Drain-/Source-Kontakte höchstintegrierter Schaltungen

Exemplarinformationen Katalogdatensatz500019754 .
Kataloginformation Katalogdatensatz500019754 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Vorliegende Sprache	ger
Name	Koester, Heiner
Name	Köster, Heiner
Name ANZEIGE DER KETTE	Köster, Heiner
T I T E L	Herstellungsverfahren und Materialeigenschaften von Titandisilizid für Leitbahnen und Drain-/Source-Kontakte höchstintegrierter Schaltungen
Erscheinungsjahr	1988
Erscheinungsjahr	1988
Umfang	IV, 99, A4 S : Ill., graph. Darst
Format	21 cm
Format	Hannover, Univ., Diss., 1985
Klassifikation	37
Klassifikation	42
1. Schlagwortkette	VLSI
	Integrierte Schaltung
	Leiterbahn
	Titansilicide
ANZEIGE DER KETTE	VLSI -- Integrierte Schaltung -- Leiterbahn -- Titansilicide
SWB-Titel-Idn	026495236
Signatur	24 301
Signatur	ZM 2740 K78
Bemerkungen	gro

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Kataloginformation500019754 Datensatzanfang . Kataloginformation500019754 Seitenanfang .

Exemplarinformationen
Barcode	Regalstandort	Literaturabteilung	Bandzählg.	Zweigstelle	Status	Fälligkeitsdat.
00118491	24 301/1	Magazin		Hauptbibliothek .	. Verfügbar .

Titel vormerken Katalogdatensatz500019754

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