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Nr. Cover Titel Verfasser Jahr Beschreibung Exemplarinformation
1 Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices [Buch] Wächtler, Thomas 2010 Buch URL Exists Catalogue Record Regalstandort: UP 7550 W126.
Lit.abteilungen: Freihand.
Verfügbar in: Hauptbibliothek.
Anzahl Exemplare: 2.
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